前段时间，美国开始针对华为芯片业务进行打压，导致台积电无法为华为生产高精度的芯片。事实上，国产半导体企业也并非没有可能制造出高精度的芯片，只是缺少高精度的光刻机而已。要知道，光刻机在芯片生产过程中起到非常重要的作用，但是高端光刻机一直被ASML垄断。
而在光刻机制造领域，全球只有ASML一家厂商可以量产高端光刻机，不过由于每年量产较少，三星和台积电等芯片代工巨头都在抢着下单，其他厂商很难买到。根据笔者了解，光刻机是由工件台、投影物镜以及光源三大核心子系统件组成，想要研发出这三大核心子系统的难度可谓是相当大。
而近日，国产光刻机迎来曙光，打破了ASML部分技术的垄断。北京华卓精科科技股份有限公司已经正式递交科创板上市申请，根据笔者了解，华卓精科是上海微电子的合作伙伴，其主要业务是之一是研发制造光刻机双工件台，同时也是中国高端光刻机龙头企业上海微电子的双工件台产品以及技术开发的供应商，目前华卓精科已经成功掌握光刻机双工件台的核心技术。
华卓精科研究出光刻机双工件台技术对于上海微电子来说有很大的帮助，为中微自主研发65nm至28nm双工件台式浸没式光刻机提供了技术赋能。据悉，上海微电子将会在一年内交付首台“28nm纯国产沉浸式光刻机”，重点是，这台光刻机可以改用套刻精度更优的华卓精科工作台，在多重曝光下，能够真正实现7nm制程工艺的芯片生产。
如此一来，实现国产芯片的梦想很快就能实现，不用被海外企业卡住脖子。
华卓精科创建于2012年，是由清华IC装备团队在多方支持下成立了该公司，在2016年，华卓精科成功研发出光刻机双工件台系统样机，仅仅五年，华卓精科就为全球第二家掌握了双工件台核心技术的公司。
值得注意的是，自2017年至2019年，华卓精科加大在研发上的投入，总投入研发资金超2.5亿元，在2019年，华卓精科的研发投入占比全年总营收比例为117.4%，其对技术研发的重视程度可见一斑。相信凭此投入，华卓精科为国产芯片做出了很大的贡献。对此，你有何见解呢？
文/球子 审/JING
